您真的必须打破晶圆来测量其表面粗糙度吗？真的不可能对 6 英寸、8 英寸、12 英寸的全尺寸晶圆进行这种测量吗？

晶圆表面粗糙度代表什么？晶圆需要平坦，以确保后期工艺的图案布局质量。它在监控粗糙度以保持布局蚀刻后的质量方面变得更加重要。

晶圆表面粗糙度很可能是通过原子力显微镜 （AFM） 测量的。传统的 AFM 可以采集尺寸小于 2cm*2cm 的样品。也就是说，您必须在运行此测量之前破坏晶圆，从而使其无法用于以后的其他分析和测试。

为了解决这一缺点，宜特采用了布鲁克尺寸 ICON AFM （AFM ICON），不仅具有足够大的平台，可以容纳最大 12 英寸的晶圆，而且还具有真空吸力，以确保扫描时更好的可靠性。此外，宜特是台湾和大陆行业中唯一配备 12 英寸晶圆可收容 AFM 机器的实验室。

AFM 使用的扫描探针有接触式、非接触式两种类型，后者最常用于粗糙度测量。考虑到不同行业的客户需求，iST 的新型 AFM ICON 具有特殊的非接触式测量模式，可利用原子间范德华力分析晶圆表面的起伏，以获得 +/- 10 nm 误差范围内的表面粗糙度数据。

可以在不破坏晶圆的情况下进行 12 英寸晶圆分析。

备注：

样品尺寸：200 mm x 200 mm x 15 mm（300 mm x 300 mm 12“ 晶圆兼容）

分析范围：90um x 90 um x 5um

我们非常乐意与您分享我们的测试经验。如需分析样品表面或更多细节，请与我们联系。